電子工業(yè)無(wú)塵廠(chǎng)房檢測電子工業(yè)潔凈室檢測潔凈廠(chǎng)房也叫無(wú)塵車(chē)間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別。
電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的檢測項目風(fēng)量（換氣次數）或風(fēng)速、靜壓差、高效過(guò)濾器（PAO）檢漏、懸浮粒子數、氣流流型 、溫度、相對濕度、噪聲、照度、自?xún)魰r(shí)間 、密閉性檢測 、臭氧濃度、隔離檢漏 、表面靜電檢測等。
|
電子潔凈室檢測項目
|
|
風(fēng)量（換氣次數）或風(fēng)速測試
|
溫度、相對濕度檢測
|
|
靜壓差測試
|
噪聲檢測
|
|
已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測試
|
微振檢測
|
|
潔凈度檢測（塵埃粒子檢測）
|
自?xún)魰r(shí)間檢測
|
|
氣流流型檢測
|
密閉性檢測
|
|
照度測試
|
表面靜電性能檢測
|
|
檢測對象
|
檢測標準
|
|
電子無(wú)塵室/潔凈室
|
《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB50472-2008
《潔凈廠(chǎng)房設計規范》 GB 50073-2013
《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010
|
電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范 GB50472-2008
D.3 潔凈室測試方法
D.3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測試，應符合下列規定：
1 對于單向流潔凈室，應采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格，每個(gè)柵格尺寸應為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸，測點(diǎn)應在柵格中心或不應少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測試時(shí)間不應少于10s。應記錄平均值、最大值和最小值，并應以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
2 對于非單向流潔凈室，每一點(diǎn)的測試時(shí)間不應少于10s。
3 在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處，應采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個(gè)測試位置的測點(diǎn)數不應少于3點(diǎn)。
D.3.2 靜壓差測試，應符合下列規定：
1 靜壓差的測定應在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。
2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。
3 潔凈廠(chǎng)房有多個(gè)潔凈室(區)時(shí)，應從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開(kāi)始，并應按順序向外進(jìn)行檢測。
D.3.3 已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測試（高效過(guò)濾器檢漏），應符合下列規定：
1 儀器應使用采樣量大于1 l／mm的光學(xué)粒子計數器。
2 應在過(guò)濾器上風(fēng)側引入大于等于0.1μm(0.5μm)粒子，粒子濃度應大于3.5×107P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過(guò)濾器下風(fēng)側應用粒子計數器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm／s速度移動(dòng)。應檢測包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。
D.3.4 潔凈室潔凈度檢測 潔凈度的檢測，應符合下列規定：
1 應使用采樣量大于1 l／min光學(xué)粒子計數器，應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書(shū)。
2 最少采樣點(diǎn)應按下式計算：
NL＝A0.5 (D．3．4—1)
式中 NL——最少采樣點(diǎn)；
A——潔凈室或被控潔凈區的面積(㎡)。
采樣點(diǎn)應均勻分布于潔凈室(區)的整個(gè)面積內，并應位于工作區的高度。
3 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應按下式確定：
4 當潔凈室(區)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應至少采樣3次。
D.3.5 氣流流型的檢測，應符合下列規定：
1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。
2 氣流目測法有示蹤線(xiàn)法、示蹤劑注入法，并應用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。
3 示蹤線(xiàn)法應為通過(guò)觀(guān)察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。
4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進(jìn)行觀(guān)察或做成圖像。
5 應采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測，本法一般是與示蹤法結合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。
6 氣流目測的測點(diǎn)位置、儀器等，應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。
D.3.6 溫度、相對濕度的檢測，應符合下列規定：
1 溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室(區)內氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應在凈化空調系統試運轉合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調系統已經(jīng)運轉，并應至少穩定運行1.0h后進(jìn)行。
2 相對濕度檢測應將潔凈工作區劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應為100㎡，應每格一個(gè)測點(diǎn)，但每個(gè)房間不應少于2個(gè)測點(diǎn)。
3 檢測用探測器應設在潔凈室(區)內的工作高度，且距潔凈室(區)的吊頂、墻和地面不應少于300mm。并應考量潔凈室(區)內可能存在的熱源的影響。
4 檢測時(shí)間應至少1.0h，并應至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數、記錄。
D.3.7 噪聲檢測，應符合下列規定：
1 潔凈室(區)內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。
2 潔凈室(區)內的噪聲檢測點(diǎn)應根據電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m，距墻應大于3m；檢測點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區)面積均分，宜每100㎡設一檢測點(diǎn)。
D.3.8 照度測試，應符合下列規定：
1 潔凈室(區)內照度檢測宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計。
2 照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進(jìn)行。潔凈室(區)照度檢測不應包括生產(chǎn)設備等的局部照明和備用照明。
3 照度檢測點(diǎn)應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25㎡設一個(gè)測點(diǎn)。
D.3.9 微振檢測，應符合下列規定：
1 潔凈室(區)內有微振控制要求的場(chǎng)所的檢測，應采用符合精密設備、儀器容許振動(dòng)值要求的微振測試分析系統進(jìn)行分階段測試。
2 微振檢測點(diǎn)應根據潔凈室(區)內需進(jìn)行微振控制的精密設備、儀器的布置和微振控制設計的要求設置，一般檢測點(diǎn)應設在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎面等。
3 微振控制的檢測應由具有相應資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F場(chǎng)檢測數據等應經(jīng)過(guò)科學(xué)分析后，提供微振控制檢測報告，應包括檢測數據的分析、結論等。
D.3.10 自?xún)魰r(shí)間檢測，應符合下列規定：
1 自?xún)魰r(shí)間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。
2 自?xún)魰r(shí)間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數器進(jìn)行檢測，同時(shí)應符合下列要求。
1)以大氣塵為基準時(shí)，則必須將潔凈室停止運行相當時(shí)間，在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測出潔凈室內靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機，定時(shí)讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復到原來(lái)的穩定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間(t)。
2)以人工塵源為基準時(shí)，應將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機，方法同上。
3 由初始濃度(N0)、室內達到穩定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(n)，可得到計算自?xún)魰r(shí)間t0)，與實(shí)測自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對比，如果t≤1. 2t0，為合格。
4 自?xún)魰r(shí)間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測方法應洽商確定。
D.3.11 密閉性檢測，應符合下列規定：
1 密閉性檢測或稱(chēng)抑制滲漏測試，是測定潔凈室(區)有無(wú)受污染的空氣從周?chē)哂邢嗤虿幌嗤o壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區)或非潔凈室(區)侵入。本檢測一般用于ISO 1～5級潔凈室(區)。
2 采用粒子計數器法檢測潔凈室(區)的密閉性，檢測時(shí)應先測量緊靠被測圍護結構表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應比潔凈室(區)內濃度大104，并大于等于3.5×106個(gè)／m3待測粒徑的粒子。
3 潔凈室(區)的施工接縫，包括對墻板、吊頂的接縫和管線(xiàn)、燈具等的接縫的滲漏檢測，應在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm／s。
潔凈室敞開(kāi)門(mén)處的滲漏檢測，應在距離門(mén)0.3～3.0m處測定潔凈室內的懸浮粒子濃度。
記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數和位置
