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蘇州益康環(huán)境檢測有限公司

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潔凈室高效過(guò)濾器檢漏檢測方法總結

2021-10-20
一、說(shuō)明
過(guò)濾網(wǎng)的泄漏測試應當是無(wú)塵室測試中,最復雜、最耗時(shí)間的測量項目。泄漏測試的目的,是要確認:
1. 濾網(wǎng)的材料無(wú)破損,
2. 安裝恰當。
濾網(wǎng)出廠(chǎng)前當然要經(jīng)過(guò)泄漏測試,但是在搬運與安裝過(guò)程難保完全無(wú)損,而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切,因此安裝完畢都要做一次掃描,以確認濾材無(wú)任何泄漏。另外,若是安裝不恰當,微粒會(huì )從邊框漏進(jìn)無(wú)塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統,天花板上是負壓,若是邊框機有微粒日后仍舊會(huì )產(chǎn)生問(wèn)題。因此,邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒,然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式,適用在不同的場(chǎng)合。
測試方式有:
1. 氣膠光度計測試法, 2. 微粒計數器測試法, 3. 全效率測試法, 4. 外氣測試法。后兩種現在使用非常少。
 
二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是最早期的測試方式,但是因為效果非常好,到今天仍舊沿用。氣膠光度計( Aerosol Photometer )是微粒計數器的一種,也是使用雷射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,所給的是微粒的總體強度,不是微粒數目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì),現改用PAO,加壓或加熱霧化之后,可以產(chǎn)生次微米等級的微粒,可用來(lái)模擬無(wú)塵室的微粒,因此被當成驗證微粒。 微粒計數器測試法
半導體業(yè)方面,早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計,但是隨著(zhù)制造精密度增加,油性挑戰微粒逐漸不容許在無(wú)塵室使用,因此出現使用干式灰塵當成挑戰微粒,在上游施放,然后用微粒計數器在下游掃描,尋找泄漏,基本概念完全相同。經(jīng)過(guò)科學(xué)家一步步研究結果,發(fā)現 PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制,因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時(shí)只要把 PSL 溶液霧化,導入濾網(wǎng)上游即可

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